《微细加工技术》核心期刊代发，创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
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综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术
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微细加工技术最新期刊目录
用于非球面测试的位相型计算全息图制作————作者：马杰;朱效立;谢常青;叶甜春;赵珉;刘明;陈宝钦;朱日宏;高志山;马骏;
摘要：本文对计算全息图元件的设计和制作关键技术进行了研究,自行开发了计算全息图元件光刻图形计算机生成算法和软件,研究了采用高速电子束直写系统制作大面积、非周期性复杂光刻图形技术,在此工作的基础上,采用湿法腐蚀铬、感应耦合等离子体刻蚀石英玻璃两步图形转移的方案,制作出了图形区直径为64 mm、最外环线条宽度为2.0μm、刻蚀深度为690 nm的位相型计算全息图元件,并对加工结果进行了测量。结果表明,本方案...
射频磁控共溅射高温NH3退火制备CuO/SiO2复合薄膜的微观结构————作者：石锋;李玉国;孙钦军;
摘要：采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在NH3保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,形成CuO结构,对其微观结构进行分析。随着退火温度的升高,CuO由单斜晶相逐渐转变为立方晶相,CuO薄膜结晶质量提高。样品于900℃和1 100℃退火后,形成有序散落的微米级颗粒,前者由粒状团簇组成,颗粒表面比较粗糙,后者由片融状小颗粒融合而成,颗粒表面比较光滑
高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征————作者：朱波;刘贵昌;施志聪;王华;刘伟;
摘要：采用两步电沉积方法在碱性柠檬酸盐-氨水络合体系中制备了含有Ni-Mo中间层的Ni-Mo-Zn电极,通过在热碱溶液中浸泡除去部分Zn后得到高析氢活性电极。SEM测试发现,该电极的合金镀层表面有多层结构和二级颗粒,它们经热碱溶液浸泡后会形成大颗粒包裹小颗粒(粒径小于1μm)的类似"藤壶"状表面形貌。通过稳态阴极极化曲线考察了不同电极的催化析氢性能,发现含有Ni-Mo中间镀层的Ni-Mo-Zn电极在碱洗...
陶瓷釉用TiO2光催化剂的制备研究————作者：陈前林;吴建青;王龙现;
摘要：制备了SiO2-TiO2和SiO2-ZrO2-TiO2复合光催化剂,并将其加入到陶瓷釉料中,结果表明,SiO2-TiO2,SiO2-ZrO2-TiO2复合粉体经1 323 K煅烧后仍具有较好的光催化活性;但用SiO2改性的TiO2粉体添加到陶瓷釉料中,经1 323 K煅烧后,由于釉料中碱金属及碱土金属等离子的侵蚀,TiO2全部转变为金红石相,所制得的陶瓷釉料不具有光催化活性;而采用ZrO2-SiO...
共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球————作者：赵彦生;陈凯;刘永梅;刘成岑;张向英;申迎华;
摘要：以聚(苯乙烯-γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷)(P(St-MPS))微球为核模版,十六烷基三甲基溴化铵为壳模版,以P(St-MPS)微球、正硅酸乙酯与MPS的混合物为硅源,直接在无皂乳液中通过共缩聚方法合成表面链有碳—碳双键功能基的P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球;采用TEM,XRD和FT-IR对产物进行了表征。结果表明,表面功能化的P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球可以...
Zn2+和PO43-复合掺杂α-Ni（OH）2的结构及电化学性能————作者：刘长久;黄良花;赵卫民;邢春晓;刘爱芳;
摘要：采用化学反应共沉淀法制备出Zn2+和PO43-阴阳离子复合掺杂的α-Ni(OH)2粉体材料。通过对其微结构表征和电化学性能的测试分析结果表明,随着阳离子Zn2+含量相对增加,阴离子PO43-含量相对减少,晶胞参数a和c逐渐增大,当把掺入Zn2+,PO43-的摩尔百分比为23.4%,5.21%时的α-Ni(OH)2样品作为MH-Ni电池的正极活性材料时,电化学阻抗和扩散电阻较小,电池在以80 mA/...
微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动————作者：李倩;刘国华;徐进良;张伟;
摘要：采用标准MEMS加工工艺,设计出了5个50μm×20μm的串联铂膜微加热器并将其置于并联流动微通道内;在脉冲加热下观察铂膜上气泡的生长行为,实验研究了主流过冷度、流速以及铂膜功率等因素对气泡生长的影响;结果表明,气泡的生长延迟间差随着主流过冷度和流速的增大而增大,随着铂膜功率的提高而缩短;高功率小流速时,气泡直径较大,但流速的提高会使气泡脱离直径变大;气泡生长的同时伴随着纵向和横向跳跃:前者与流速...
锂离子电池正极材料LiNi0.4Co0.2Mn0.4O2的合成及电化学性能————作者：钟胜奎;刘乐通;刘洁群;姜吉琼;王健;李阳;郑少英;
摘要：采用碳酸盐共沉淀法合成了Ni0.4Co0.2Mn0.4CO3前驱体,然后以Ni0.4Co0.2Mn0.4CO3和Li OH为原料,合成出了层状锂离子电池正极材料Li Ni0.4Co0.2Mn0.4O2。通过XRD,SEM和电化学测试对Li Ni0.4Co0.2Mn0.4O2材料的结构、形貌及电化学性能进行了测试和表征。结果表明,800℃下烧结12 h所得到的样品,以0.2 C放电,其首次放电容量1...
染料敏化太阳能电池改性PEDOT:PSS对电极的制备————作者：巩翠翠;胡志强;苏岩;李璞;周红茹;康姣;
摘要：通过滚涂法制备了一种掺杂二甲基亚砜(DMSO)和炭黑的改性PEDOT∶PSS新型对电极。固定炭黑的加入量,调节PEDOT∶PSS与DMSO的比例,用滚涂法制备了不同的薄膜对电极。通过四探针测试仪、扫描电镜、太阳电池测试仪,分别测试了薄膜对电极的方块电阻、表面形貌及其光电性能。结果表明,当PEDOT∶PSS溶液与DM-SO的质量比为4.5∶1时,制备的对电极组装的电池性能最佳,短路电流密度为2.12...
碳纳米管场电子发射性能不稳定性的分析————作者：王必本;王峰瀛;党纯;
摘要：利用等离子体增强热丝化学气相沉积制备了多壁碳纳米管,并测试了它的场电子发射性能,发现碳纳米管的场电子发射性能在测量过程中发生了变化。利用X射线能谱仪对碳纳米管进行了表征,结果表明氧吸附在碳纳米管上。氧的吸附导致了碳纳米管的功函数发生了变化,造成碳纳米管场电子发射性能不稳定。同时,本工作还分析了氢的吸附可能对碳纳米管场电子性能的影响。因此,本工作对碳纳米管在微电子领域的应用有一定的意义
X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器————作者：李晶晶;赵以贵;贾锐;李冬梅;牛洁斌;柯导明;陈军宁;
摘要：提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法。首先利用电子束光刻和微电镀技术制作X射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米尺电、电极陡直均匀的叉指换能器。制备出的叉指电极特征尺寸为600 nm,面积为4 mm×6 mm,断指率小于3‰,可应用于高频声表面波器件中。研究结果表明,X射线光刻结合剥离技术是一种制备高频SAW器件的优良方...
高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作————作者：吴璇;陈军宁;朱效立;牛洁斌;李亚文;胡松;谢常青;
摘要：相对于软X射线显微成像,硬X射线显微成像对菲涅尔波带片的吸收体厚度提出了更高的要求。采用电子束光刻和X射线光刻复制的方法,在聚酰亚胺薄膜上成功制作了高高宽比的菲涅尔波带片。首先利用电子束光刻和微电镀技术制作了X射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和微电镀制作了高高宽比、线条侧壁陡直的菲涅尔波带片。复制后的波带片最外环宽度500 nm,直径1 mm,吸收体金厚度为3.6μm,高宽比达到7.2,可用于1...
Fe-ZnSe纳米复合颗粒膜的制备和磁电阻效应————作者：张林;张昌文;王永娟;
摘要：采用射频溅射法制备了"纳米铁磁金属颗粒-半导体基体"Fe-ZnSe复合颗粒膜,研究了颗粒膜的结构、磁性和磁电阻效应。实验结果表明,在室温下Fe-ZnSe复合颗粒膜中纳米Fe颗粒表现出超顺磁性,颗粒膜的磁电阻变化率Δρ/ρ0数值达到4.6%;颗粒膜的磁电阻变化率Δρ/ρ0随温度的变化关系表明Δρ/ρ0数值随温度的下降而增大
Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响————作者：徐庆岩;吴雪梅;诸葛兰剑;陈学梅;吴兆丰;
摘要：采用射频磁控溅射方法在导电玻璃和石英衬底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂量的ZnO薄膜。XRD显示,适当的Cu掺杂增强了ZnO的(002)衍射峰的强度;用紫外分光光度计测量了样品的透光性,结果显示,随掺杂量的增加,其透光性减弱,但在Cu掺杂量为9.6%时其透光性还在60%以上。用四探针测量了样品的表面电阻率,薄膜的电阻率随Cu掺杂量的增加而增加
低相位噪声毫米波平面振荡器研究————作者：程知群;周云芳;张胜;
摘要：设计了一种低相位噪声毫米波平面振荡器电路,采用在振荡器谐振端嵌入缺陷接地结构（DGS）方法来改善振荡器的相位噪声;同时在振荡器混合集成中采用了芯片倒扣技术减小寄生效应。分析并比较了嵌入和未嵌入DGS结构两种振荡器电路的性能。测试结果表明,嵌入DGS结构的振荡器相位噪声比未嵌入的降低了5 dB7 dB
MOCVD侧向外延生长GaN的研究————作者：朱丽虹;李晓莹;刘宝林;
摘要：在低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)系统中利用侧向外延生长(epitaxial lateral overgrowth,ELO)技术进行了二次外延GaN的研究。SEM观察结果表明,翼区和窗口区宽度比值不同的图形衬底,侧向和纵向的生长速率不同;其AFM表面形貌图像表明,长平的ELO-GaN表面平整,位错密度较低。ELO-GaN的光致发光(PL)谱的带边峰比传统方法生长的GaN的带边峰红移了1...
大角度离子注入机控制系统软件设计————作者：伍三忠;吴学忠;
摘要：介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能
聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究————作者：王亚军;刘景全;沈修成;杨春生;郭中元;芮岳峰;
摘要：首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适当增大功率有利于各向异性刻蚀。刻蚀速率在一定范围内随气压增大而增大,工作压力为10.67 Pa时,刻蚀速率达到0.47μm/min;当气压超过10...
SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现————作者：徐春晓;房立清;周新伟;
摘要：设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应用光刻I、CP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现。研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据
反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究————作者：刘凯;张卫平;陈文元;刘武;李凯;戴福彦;
摘要：介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究。利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子合理的工艺路径,并进行了测试,测试显示定子结构完整正常
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