【杂志简介】
《真空科学与技术》主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。
主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。
【收录情况】
国家新闻出版总署收录 该刊被以下数据库收录：
CA 化学文摘(美)(2009)
SA 科学文摘(英)(2009)
CBST 科学技术文献速报(日)(2009)
EI 工程索引(美)(2009)
中国科学引文数据库(CSCD—2008)
【核心期刊】
中文核心期刊(2008)
中文核心期刊(2004)
中文核心期刊(2000)
中文核心期刊(1996)
【栏目设置】
主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。
杂志优秀目录参考：
容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究 杨旺，刘学平，夏焕雄，向东，牟鹏，Yang Wang，Liu Xueping，Xia Huanxiong，Xiang Dong，Mou Peng
用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布 陈宗胜，林志丹，时家明，马丽芳，Chen Zongsheng，Lin Zhidan，Shi Jiaming，Ma Lifang
基于PEM和模糊PI的反应磁控溅射非线性控制方法 张军，叶敏，张新荣，张道配，Zhang Jun，Ye Min，Zhang Xinrong，Zhang Daopei
应用于等离子体破裂防护的双涡流驱动快速充气阀的研制 庄会东，张晓东，Zhuang Huidong，Zhuang Xiaodong
多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析 郎文昌，高斌，杜昊，肖金泉，谢婷婷，王向红，Lang Wenchang，Gao Bin，Du Hao，Xiao Jinquan，Xie Tingting，Wang Xianghong
高碳锰铁预氧化—真空脱碳制备低碳锰铁热力学分析及实验研究 徐宝强，马永博，杨斌，刘大春，Xu Baoqiang，Ma Yongbo，Yang Bin，Liu Dachun
TiO2真空碳热反应及可溶性TiO阳极电解过程研究 赵坤，王耀武，陈昪，李应龙，冯乃祥，Zhao Kun，Wang Yaowu，Chen Bian，Li Yinglong，Feng Naixiang
气相合金化制备镁锌二元合金的研究 牛立斌，许臻，彭建洪，王晓刚，樊子民，Niu Libin，Xu Zhen，Peng Jianhong，Wang Xiaogang，Fan Zimin
氧化铝真空碳热还原氯化歧化过程中二氯化铝行为研究 卢勇，周岳珍，陈秀敏，舒凯，高腾飞，郁青春，刘大春，杨斌，徐宝强
磁控溅射制备Er3+掺杂Al2O3薄膜的上转换发光特性 王俊，毛鑫光，沈杰，Wang Jun，Mao Xinguang，Shen Jie
Ti6Al4V磁控溅射沉积Ti-Ag-(N)薄膜及其抗菌性的研究 郭杨阳，田伟红，黄晓波，张翔宇，李轩鹏，范爱兰，唐宾，刘小萍
真空蒸镀Ag2O/HDPE膜对奶酪的保鲜性研究 李亚娜，徐伟民，张国全，Li Yana，Xu Weimin，Zhang Guoquan
N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响 冯军，金凡亚，童洪辉，但敏，沈丽如，陈美艳，邓雉，赖新春
交通类论文发表：接触网作业车制动闸瓦偏磨原因分析及改进
摘 要：接触网作业车是电气化铁路接触网日常维修、大修、事故抢修和施工的重要机具。其作业车制动系统性能好坏，将直接影响其行车安全。笔者结合多年的现场检修工作经验与专业理论知识，通过对接触网作业车制动闸瓦偏磨原因分析，采取科学有效措施，并在作业车上进行成功改造，使制动闸瓦偏磨问题得到彻底解决。
关键词：闸瓦偏磨,接触网原因,基础制动,措施
随着电气化铁道向高速、重载方向快速发展，对接触网可靠性的要求越来越高，也对接触网作业车行车安全提出更高要求。随着我段接触网作业车使用年限增加，制动闸瓦偏磨越来越严重，直接影响行车安全。
真空科学与技术最新期刊目录
基于多场耦合的塑壳断路器分断双弧特性及影响因素分析————作者：梁博;董海燕;窦建明;燕宁宁;王思润;林小军;
摘要：双断点塑壳断路器具有快速分断与双弧运动的特点，针对目前分断双弧的放电现象研究较为匮乏，探究双断点分断的电弧动态行为具有重要意义。本文基于磁流体动力学理论，依据断路器灭弧室实际尺寸，构建多物理场耦合的分断双弧仿真模型，分析电弧动态演变行为与断路器的开断特性，探究开断过程中灭弧室气体流动现象与电弧运动机理，并搭建试验平台进行分断试验，对比仿真与试验结果，在此基础上，进行驱弧磁场、烧蚀金属蒸气浓度对分断...
制冷机低温泵冷板阵列仿真分析及结构优化————作者：姚吉恺;王国栋;李恒霖;陈肇玺;
摘要：低温泵由于其运行稳定、大抽速等特性，广泛应用于半导体制造、大科学装置及环模装备。低温泵的冷板阵列作为泵送氢气的主要部件，其结构尺寸对抽气性能具有重要影响。本研究以G-M制冷机低温泵为研究对象，基于稀薄气体动力学理论，对比分析不同冷板层数及直径对抽气性能的影响，并根据抽速、降温时间、工作寿命三个指标筛选最优冷板阵列结构，最后通过热流耦合方法分析最优冷板阵列结构，对比分析不同G-M制冷机二级冷头安装高...
大型低温测试装置的冷屏结构设计与研究————作者：吴清浩;杨庆喜;胡锐;徐皓;余清洲;陈肇玺;
摘要：环向场（TF）和极向场（PF）线圈是国际热核聚变实验反应堆（International Thermonuclear Experimental Reactor，ITER）的关键部件。为了验证已制造的TF和PF线圈性能是否符合性能标准，需在安装前于低温环境中进行低温超导性能测试。根据TF和PF线圈的结构及测试要求，设计了大型低温测试装置。基于该测试装置的结构设计，采用多层绝热（MLI）作为冷屏屏蔽外部...
一种适用于(10～105)Pa气体质谱分析的可控取样系统的设计————作者：杨传森;郭宇扬;刘迪;郑阳阳;卢耀文;王欢;宋春尧;陈俊儒;丁双;陈千睿;
摘要：为了满足半导体制造、航天工程等领域对常压和中低真空气体取样的需求，本文设计了一种适用于(10～105)Pa气体质谱分析的可控取样系统。系统由真空抽气模块、节流取样模块、真空测量模块、温控模块和数采与控制模块组成。通过毛细取样管和压电微调阀的两级压力可控衰减，结合双小孔流导元件的抽气流量控制，系统能够在不同压力下稳定采集气体样品。实验验证表明，该系统能够在(10～1×10 自由基刻蚀多晶硅及氟原子密度检测的研究————作者：高远;李筝;曹勇;桑利军;刘博文;刘忠伟; 摘要：随着集成电路特征尺寸的不断缩小，传统刻蚀技术在选择性和物理损伤控制等方面面临挑战。自由基刻蚀技术具有高精度、低刻蚀损伤等优点，在微纳加工中具有重要应用价值与广阔的应用前景。本研究利用自由基刻蚀技术，以CF4/O2/He混合气体为放电气体，系统研究了放电参数，如输入功率与气体流量对多晶硅刻蚀速率和F原子密度的影响。使用Ar作为标定气体定量测定刻蚀过程中的F... 入口压力对转子-径隙式水力空化反应器空化性能的影响研究————作者：李浩;袁丹丹;罗崇岳;王磊;宋永兴;张林华; 摘要：水力空化现象已广泛应用于工业生产和医疗卫生等多个领域。本文主要研究一种新型转子-径隙式水力空化反应器中入口压力对其空化性能的影响。通过数值模拟，分别计算反应器在入口压力为0 atm、0.5 atm和1 atm时，空泡体积以及转子域和定子域空化特性的变化。研究结果表明，随着入口压力升高，反应器空化强度逐渐下降。当入口压力由0 atm增加至0.5 atm和1 atm时，空泡体积分别减少33.3%和49... 束源炉结构及布局对分子束外延薄膜材料均匀性影响的仿真————作者：陶先童;段莹瑞;李壮壮;宋立媛;杨春章;杨晋;李艳辉;孔金丞;赵俊;姬荣斌;王善力; 摘要：亿像素红外探测器是下一代红外探测器发展的重要方向，8英寸高均匀碲镉汞薄膜成为实现该技术的最重要一环。分子束外延系统中束源炉结构及布局是影响分子束外延碲镉汞薄膜材料组分及厚度均匀性的关键因素之一。本文从满足大尺寸高均匀碲镉汞外延薄膜材料的要求出发，对束源炉的束流产生和出射分布做了理论分析，模拟计算了束源炉布局和坩埚内源材料状态对衬底上外延薄膜材料膜厚均匀性的影响。使用多物理场仿真软件COMSOL，以... 磁悬浮分子泵转子径向位移波动抑制机理的研究————作者：温福强;宋铠钰;孙灵豪;刘强;张嘉伟; 摘要：针对高转速下磁悬浮分子泵径向位移波动量大极易失稳的问题，提出一种基于磁悬浮分子泵转子结构抑制其径向位移波动的方法。以一台1.5kW，27720r/min高速磁悬浮分子泵为例，建立三维计算模型，利用有限元法对转子刚体模态、弯曲模态、临界转速以及挠性支承进行耦合求解，确定转子径向位移波动频率与转速间的变化规律，在此基础上，对磁悬浮分子泵转子结构变化对其径向位移波动的影响进行分析研究，揭示影响磁悬浮分子... 基于蒙特卡罗方法的低温冷阱流导、抽速仿真计算————作者：陆广宝;杨杨;武义锋;曾环;王君;邓家良; 摘要：随着半导体工艺的快速发展，对分子泵的抽气性能，特别是抽离水汽的能力提出了更高的需求，这使得搭配分子泵使用的组合型低温冷阱被广泛应用。氮气流导和水汽抽速是衡量低温冷阱性能的关键参数，与其内部冷凝板形状息息相关。水汽抽速因水分子的强吸附性使得通过实验测量变得极为困难。在本文中通过蒙特卡罗方法系统地研究了冷凝板大小、冷凝板折边对低温冷阱的氮气流导和水汽抽速性能影响。另外根据模拟结果研发设计了一款低温冷阱... 合肥光源光束线站新型真空安全联锁系统设计————作者：刘群;陈留国;李芳;贾文红;汪啸;贺博; 摘要：光束线站真空安全联锁是保障同步辐射光源储存环的运行安全与线站关键设备安全的重要系统。文章阐述了合肥光源新建成的金华光束线站真空安全联锁系统的最新设计方法。基于新型的高性能可编程控制器PLC（Programmable Logic Controller）和开放的软件平台EPICS 7（Experimental Physics and Industrial Control System）分布式控制系统架... 变螺距螺杆真空泵内部工作过程建模与热力分布规律————作者：孟雨;孙显彬;乔中涛;尚允坤;张黎明; 摘要：掌握螺杆真空泵内部工作过程是设计高性能螺杆转子的基础，本文对变螺距螺杆真空泵工作过程进行了建模分析。首先，基于简化泄漏通道几何结构模型，构建了螺杆真空泵泊肃叶流、库爱特流两种流动方式下粘滞流、过渡流、分子流三种流态的基于时间的内部泄漏通道级间泄漏模型；然后，基于气体运输条件假设，构建了内部吸气阶段、压缩阶段、反冲阶段及排气阶段气体运输模型；最后基于内部泄漏通道级间泄漏模型和气体运输模型，揭示了内部... 阳极层霍尔推力器内坡印亭矢量与能量转换机制研究————作者：陈满珍;赵杰;张正浩;唐德礼; 摘要：本文采用三维粒子云网格-蒙特卡洛碰撞（PIC/MCC）算法，从轴向和径向空间维度，分析稳态时坡印亭矢量分布对阳极层霍尔推力器能量转换过程的影响机制。坡印亭矢量场强在轴向空间具有梯度分布特征，呈现显著的空间非均匀性。通过径向空间的相关性分析发现，电子能量的累积过程不仅受电磁场直接加速的影响，还涉及多种非线性能量传输机制。坡印亭矢量场强通过调控电子漂移速度影响离子密度分布，最终形成空间上连续但存在特征... 高加速寿命试验在裂解源装置可靠性测试中的应用————作者：陈冬冬;郭维;张朱锋;谢斌平;高汉超; 摘要：裂解源是超高真空分子束外延（MBE）设备的核心部件，可用于生长诸如GaAs、InP、GaSb等多种III-V族化合物半导体外延材料。由于MBE使用过程中超高真空不易获取的特点，对裂解源的可靠性有很高的要求。本文探讨了分子束外延设备用砷裂解源装置高应力加速试验的原理和方法，针对裂解源的特点设计了加速老化试验方案。根据高温度应力加速模型，我们确定了裂解源的温度组合加速因子，设计出相应的试验任务剖面，并... 基于NS-DSMC方法的质谱光电离源仿真研究————作者：高世俊;黄俊;何子阳;毕海林;王旭迪;刘成园;杨玖重;许鸣皋;潘洋; 摘要：<正>质谱（Mass Spectrometry，MS）技术具有灵敏度高、分析速度快、分析范围广等特点，在化学化工、材料、环境和生命科学等领域得到广泛使用[1–4]。光电离质谱(Photoioniza 非平衡态等离子体催化CO2加氢逆水煤气反应的实验研究————作者：李森;赵悦彤;孙康宁;马婷婷;戴健男; 摘要：本文采用非平衡态等离子体放电技术协同Cu基催化剂的方法，促进CO2加氢逆水煤气反应低温高效地进行。实验对比分析了纯催化、纯等离子体以及二者协同作用下对CO2转化性能的影响，重点考察了等离子体放电电压、气体流量、CO2和H2的比例、循环水温度对CO2转化率、CO选择性的影响，以及不同条件下的... 基于有限元分析与声学实验的夹管式真空界面阀气动噪声特性研究————作者：连加俤;李朋飞;陈皇凯;许静;潘威; 摘要：气动噪声是真空界面阀在真空排污系统运行中面临的一个关键问题，在公共场所噪声显著影响用户体验，减少真空界面阀工作时的气动噪声尤为重要。本文围绕自主设计的夹管式真空界面阀，采用有限元分析（FEA）方法与声学实验相结合的方式，全面探究了阀门在不同开度、压强和结构条件下的噪声特性。有限元分析采用Proudman宽频噪声预测模型及ANSYS Fluent中的FW-H方程求解器实现Lighthill声类比，实... 基于伴随优化和正交实验的蒸汽喷射器结构优化————作者：方凯跃;毛维斌;操正清;张新晨;杨雪龙; 摘要：作为蒸汽喷射器制冷系统（ERS）中的核心组件，蒸汽喷射器的性能对整体系统的运行效果具有重要影响，其性能的优劣直接决定了制冷效率。将伴随方法应用于喷射器领域，建立了可视化方案对喷射器进行敏感性分析，筛选出关键结构参数；通过单因素分析方法确定关键结构参数的水平范围，建立L9(34) 正交表，得出最优结构参数组合；对最优结构参数组合的主喷嘴结构采用伴随优化方法... 细长管内真空压力分布的算法研究和工程实践————作者：陈林;邓高飞;杨红;刘伟健;王浩为;罗守庚;白文龙; 摘要：本研究针对细长真空管在实际工况中存在的远端压力计算复杂、耗时较长以及管内压力难以测量等技术难题，采用理论推导、数值模拟与实验测试相结合的方法，系统研究了细长真空管内的压力分布规律。结果表明：细长管两端的压差与管路的几何参数相关；且细长真空管内的压力呈现典型的抛物线分布特征，其中泵口侧压力梯度变化最为显著；通过缩短管道长度或增大管径可有效优化管内压力分布。本研究成果为真空系统的优化设计提供了理论依据... 一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵————作者：王君;杨杨;曾环;邓家良;陆广宝; 摘要：本研究成功设计了一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵，通过结构优化显著提高了Xe抽速，并能够有效抽除N2、H2等常规气体。实验结果表明，该低温泵的Xe抽速高达65000 L/s，对N2和H2的抽速也分别达到了60000 L/s，抽氢容量为150 L。这些成果证实了新型大抽速CP1250Xe复合低温泵在提升氙... 高功率脉冲磁控溅射制备C:Ni:Cu体系薄膜及其热分解制备少层石墨烯————作者：李筝;高远;刘森;桑利军;王正铎;刘忠伟; 摘要：石墨烯作为一种先进的功能碳材料得到了广泛应用，本研究通过对高功率脉冲磁控溅射 （HiPIMS） 技术沉积的C:Ni:Cu体系薄膜的快速热退火，在300 nm SiO2/Si基底上直接制备石墨烯。研究了C2H2流量、薄膜厚度、工作气压、退火温度、退火时间及退火升温速率等参数对石墨烯层数和质量的影响，在上述参数分别为2 sccm、48 ... 相关科技期刊推荐 核心期刊推荐
