真空

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《真空》 关注(): 期刊周期：双月刊; 期刊级别：北大核心; 国内统一刊号：21-1174/TB; 国际标准刊号：1002-0322; 主办单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所; 主管单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所; 上一本期杂志：《测绘工程》测绘工程师论文; 下一本期杂志：《四川环境》杂志目录参考

　　【杂志简介】

　　《真空》杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

　　真空杂志系国家级刊物，首批列入我国“中文核心期刊要目总览”中工业技术类核心期刊，在此类30种期中排列第八名。同时列为“中国科技论文统计与分析”首批统计刊源。近年又首批入编“中国学术期刊光盘版”。由于本刊特色。30多年来在我国真空界享有盛名，颇受广大读者欢迎。为我国真空业界首选技术刊物。发行全国24个省市、自治区，并与境内外多种刊物交换收存。

　　【收录情况】

　　国家新闻出版总署收录　获奖情况

　　工程技术类核心期刊

　　中国期刊网、光盘国家工程中心用刊

　　国外数据库收录

　　美国化学文摘

　　【栏目设置】

　　主要栏目：学术论文、新产品开发、实验技术、系列讲座、综合评述、设计与工艺、经验介绍、市场预测、产品广告、知名厂商、设备维护、知识问答等。

　　杂志优秀目录参考：

　　中国散裂中子源(CSNS)真空系统研制董海义，宋洪，李琦，杨奇，赵晶晶，黄涛，王鹏程，关玉慧，刘鹏飞，刘佳明，DONG Hai-yi，SONG Hong，LI Qi，YANG Qi，ZHAO Jing-jing，HUANG Tao，WANG Peng-cheng，GUAN Yu-hui，LIU Peng-fei，LIU Jia-ming

　　动态相对法真空标准装置简介国家真空设备质量监督检验中心

　　EAST高频弹丸注入装置真空系统设计姚星佳，胡建生，李长征，陈跃，YAO Xing-jia，HU Jian-sheng，LI Chang-zheng，CHEN Yue

　　基于Visual Basic的真空系统计算软件开发王莉君，罗阳，华海宇，WANG Li-jun，LUO Yang，HUA Hai-yu

　　太空旅游燃热点科普教育新突破--510所《载人航天与太空旅游》正式出版沈阳真空杂志社

　　浮动式涡旋干泵的结构设计与特点倪诗茂，NI Shi-mao

　　AVS上海薄膜会议

　　基于分子蒸馏原理的金属铯提纯实验系统研制马寅光，李得天，陈江，王骥，黄良育，成大鹏，刘苏民，MA Yin-guang，LI De-tian，CHEN Jiang，WANG Ji，HUANG Liang-yu，CHENG Da-peng，LIU Su-min

　　中国知网与真空杂志社联合声明中国知网、真空杂志社

　　真空喷射雾化过程中喷嘴口的流动模型计算与数值分析韩宇，李建昌，HAN Yu，LI Jian-chang

　　大口径低温泵之制冷机R65的研制熊鹰，杜建伟，徐海波，王为民，XIONG Ying，DU Jian-wei，XU Hai-bo，WANG Wei-min

　　真空自耗电弧炉恒熔速控制系统改造王勃，陈鼎，孙足来，WANG Bo，CHEN Ding，SUN Zu-lai

　　多晶硅铸锭炉扩容后的安全性分析及安全措施研究周社柱，王锋，张桂芸，王成君，冯宏亮，ZHOU She-zhu，WANG Feng，ZHANG Gui-yun，WANG Cheng-jun，FENG Hong-liang

　　中国农机化投稿：机械电气设备故障的应急处理

　　摘要：现代工程的进行离不开机械电气设备，电气设备在数年来的发展下愈加机械化与电气化，极大地提高了工程效率。然而，机械电气设备在愈加智能化、自动化的同时会出现许多故障，这些故障或多或少地影响到工程的正常进行，引起一定的经济损失。为了避免因设备故障影响工程实施，相关工作人员必须针对设备故障进行应急处理。该文试探讨工程中机械电气设备的常见故障，包括开关故障、转子回路的短路故障、启动电抗器的接地故障，以及分别对应的应急处理措施。

　　关键词：工程机械,电气设备,设备故障,故障应急处理

　　机械电气设备的功能随着科学技术的提高具有越来越高的科技含量，对于企业的生产具有极为重要的意义。然而，或因设备本身设计的缺陷、制造过程中的不足，或因外部环境恶劣、人员操作不当，机械电气设备会出现影响到设备正常运行的故障，常规维修固然可以最好地保证设备功能正常，但是会耗费较长的时间，企业无法接受停工造成的经济损失，为此，必须要有应急措施来处理设备故障。

　　真空最新期刊目录

控制镧热还原制备镱原子蒸气密度的工艺研究————作者：胡林松;金策;

摘要：目前，工业上应用镧热还原法制备镱的反应温度一般设置为1200 ℃左右，该温度下金属镱的收率和纯度很高，但还原反应十分剧烈，而一些特定工业领域对反应产物的原子蒸气密度提出了严格要求。针对该问题，本文以高纯氧化镱和镧屑为原料，对镧热还原制备镱的工艺和还原反应热力学进行分析，研究了还原反应温度和还原剂过量比对金属镱原子蒸气密度的影响规律。结果表明：650 ℃下存在微量还原反应；700～800 ℃镱原子蒸...

Sc₂O₃- Y₂O₃- ZrO₂热障涂层陶瓷材料的微观结构及力学性能————作者：郭毛毛;谢敏;王志刚;牟仁德;宋希文;张永和;

摘要：为提高传统YSZ热障涂层的综合性能，采用多元稀土氧化物掺杂对其进行改性，利用固相法合成了不同Sc₂O₃、Y₂O₃配比（总摩尔分数为8%）的Sc₂O₃-Y₂O₃-ZrO₂（ScYSZ体系）陶瓷材料，测试分...

工业加速器用C波段小型化高功率多注速调管————作者：卫博;李冬凤;王加松;李闯;王刚;

摘要：小型化高功率多注速调管是无损检测、医疗及工业辐照用电子直线加速器的理想功率源。本文简要介绍了北京真空电子技术研究所研制的一款新型C波段3MW小型化高功率多注速调管，对其采用的同轴多注谐振腔、周期反转永磁聚焦系统以及大尺寸盒形输能窗等技术进行了说明。器件测试结果表明，其峰值输出功率大于3.3MW，平均功率大于6.6kW，质量轻于25kg，可满足工业加速器的使用要求，在此基础上可形成输出功率满足1～5...

射频功率对ITO薄膜结构及性能影响的研究————作者：孙冰成;张贤旺;张健;

摘要：使用射频（RF）磁控溅射技术，在耐高温石英玻璃基底上制备了氧化铟锡（ITO）透明导电氧化物薄膜，旨在优化其光电特性。通过系统调控溅射功率变量，深入剖析了该参数对ITO薄膜质量及光电性能的影响机理，之后又对薄膜进行退火处理，探究了退火前后薄膜性能的变化。结果表明：随着溅射功率的增加，ITO薄膜的可见光平均透过率呈现递减趋势，而薄膜的片电阻呈现先下降后上升再下降的趋势；当溅射功率为120 W且经过30...

新型材料瓷砖粘合剂真空稳定状态下制备与性能研究————作者：卢国享;王中荔;

摘要：为确保瓷砖粘合剂制备过程中的稳定性并优化其粘接性能，研究了结合真空技术的新型材料瓷砖粘合剂的制备方法与性能。根据标准瓷砖尺寸制备瓷砖粘合的混凝土表面试块，并根据室内装饰施工场景为其涂刷防水材料。对邻苯二甲酸氢钾和甲苯二异氰酸酯进行真空合成，制备瓷砖粘合剂预聚物。通过迈克尔加成反应使粘合剂预聚物改性，降低其生物毒性。利用真空干燥箱对改性粘合剂预聚物进行干燥处理，调控干燥过程，获得粘合剂初产物。利用真...

真空时效工艺对ZG0Cr17Ni4Cu3Nb和0Cr17Ni4Cu4Nb硬度与组织的影响————作者：王蔓;战春鸣;施国梅;王哲;

摘要：对ZG0Cr17Ni4Cu3Nb和0Cr17Ni4Cu4Nb不锈钢进行真空时效处理，系统分析了不同时效温度（540～620℃）对其显微组织及力学性能的影响机制。结果表明：随着时效温度的升高，两种材料的硬度均呈现下降趋势。在相同时效工艺下，0Cr17Ni4Cu4Nb的硬度优于ZG0Cr17Ni4Cu3Nb。时效温度升高导致淬火马氏体基体发生回复与再结晶，促使逆转变奥氏体生成并扩展，进而提升了残余奥氏...

射频等离子体去胶及表面清洗工艺技术研究————作者：田文娟;贺晓彬;焦斌斌;

摘要：简要介绍了等离子去胶和清洗的化学、物理变化过程；系统分析了决定去胶效果和去胶均匀性的因素，并给出了相应的方案和最优参数匹配原理，通过实验研究了不同工艺条件下微米级及纳米级Ar-F光刻胶的最优去除工艺参数；探讨了等离子体清洗反应原理、工艺过程，以及等离子体清洗在材料表面改性方面的应用

用于机匣类铸件的大型真空精密铸造炉————作者：宋静思;贾石;张增海;赵帅;陈久强;李秀章;张哲魁;

摘要：随着我国商用航空发动机产业不断发展，大尺寸机匣铸件的需求日益增加。面临复杂的国际环境，大型真空感应精密铸造炉作为生产大尺寸机匣的核心设备必须摆脱进口依赖。本文首先深入分析了大型真空精密铸造炉的市场情况和技术现状，然后介绍了一种国产新型大型真空精密铸造炉的技术特点及其与国外产品的对比情况，最后简要分析了大型真空精密铸造炉未来的发展前景

热室内真空装置设计研究————作者：张志平;许忠政;姜正鹤;张黎源;

摘要：在核工业领域，真空技术被广泛应用。在处理含有放射性的有毒有害物质时，真空装置安装在热室内，操作与维修需尤为谨慎。为了实现真空装置的有效运行、便捷维护以及提高真空装置的可靠性，对其进行适应性设计显得尤为重要。本文基于热室的基础背景，介绍了可以远程操作的真空装置自动平移门、在热室外远距离布置的真空系统、金属真空密封技术、可远程更换的电机结构和耐辐照材料选型等关键要素的设计要点，为同类真空装置的设计提供...

磷对镍基高温合金铸态组织和力学性能的影响————作者：陈明;李相材;张晓敏;黄烁;王冲;胡军;

摘要：采用真空感应熔炼和保护气氛电渣重熔工艺制备了一系列不同磷（P）含量的铸态高温合金。通过光学显微镜、扫描电子显微镜、电子探针、维氏硬度计和拉伸试验机等，系统地分析了P元素对合金微观组织和力学性能的影响。结果表明，不同P含量下铸态合金的晶粒组织和γ'相无显著变化；随着P含量的增加，合金晶界处碳化物密度增加，且碳化物的形态从点状转变为短棒状；P元素在晶界偏聚使得晶界能降低，碳化物临界形核尺寸减小，因而促...

PIAD成膜法的智能DLC薄膜——在燃料电池金属双极板领域的应用————作者：绪方洁;铃木泰雄;毕婷婷;

摘要：介绍了等离子注入成膜（PIAD）方式的原理和特征，即通过高频放电使原料气体离化而生成离子，然后将其注入到施有高压脉冲电压的基材中。描述了用PIAD方式成膜的类金刚石（DLC）薄膜的特征和应用案例，结果表明PIAD方式可以通过脉冲电压和其他成膜参数控制DLC薄膜中sp2结构石墨层以及sp3结构金刚石层的生长，因此可以制备出具有耐腐蚀性和导电性功能的DLC薄膜。重点介绍了关于PIAD方式功能性DLC薄...

方形电子束熔炼炉真空腔体设计研究————作者：宋涛;张柏诚;姜正鹤;张黎源;

摘要：针对方形电子束熔炼炉真空腔体壁厚与加强筋选型设计困难的现状，提出了一套适用于方形电子束熔炼炉真空腔体的设计方法。首先确定炉体材料，然后根据法兰、开孔及抽气孔等孔位布置加强筋，以矩形加强筋为例，详细讨论了承载水压、气压条件下方形真空容器壁厚、加强筋之间板材所受最大弯矩、惯性矩、抗弯截面系数以及最大切应力的计算方法，最后通过仿真实验对设计的电子束熔炼炉真空腔体进行了验证。结果表明，所设计的电子束熔炼炉...

用于氧化锆模拟种植体表面亲水改性的新型等离子体处理系统————作者：蔡嘉宁;余德平;巩晓菲;薛嘉清;张佳诚;郑铮;陈文川;

摘要：氧化锆种植体因其优异的生物学及美学性能，在种植牙手术中应用愈发广泛。为进一步提升氧化锆种植体的种植成功率与骨结合率，提出了一种用于氧化锆模拟种植体复杂形状表面亲水改性的等离子体处理系统。该系统利用纳米银线制备作为同轴介质阻挡放电的外透明电极，将氧化锆种植体置于低压腔内轴电极上方，可在1 min内处理后显著提升种植体表面亲水性。通过实验验证了系统可靠性与处理的有效性，并确定了系统最优处理参数，处理时...

基于ANSYS的真空烧结炉保温层参数优化————作者：王元晖;周明旭;李建昌;

摘要：针对某型真空烧结炉的保温性能和炉内温度均匀性问题，利用传热学理论模型对其保温层参数进行优化，采用Ansys稳态热分析法研究了保温层内侧石墨板厚度、外侧碳毡厚度及保温层与加热体距离对真空炉温度场的影响。结果表明：增加碳毡厚度可提高炉内保温性能及温度均匀性，但当厚度超过150 mm时进一步提升效果变得微弱；保温层与加热体距离为80 mm时，保温层内侧温度最高，达到1 008.5℃，相较于原始方案100...

基于CNN-RNN的氦检漏设备故障诊断研究————作者：瞿骑龙;段垚;张治军;艾士义;

摘要：氦检漏设备在工业生产中广泛应用于检测微小泄漏，确保系统的安全性和可靠性。然而，由于设备的复杂性和工作环境的多变性，故障诊断变得尤为关键。本文提出了一种基于神经网络的氦检漏设备故障诊断方法，旨在提高故障检测的准确性和效率。首先，对设备运行数据进行采集和预处理，输入卷积神经网络（CNN）提取有效的特征向量并降维。然后，将特征输入循环神经网络（RNN），捕捉数据的时序依赖关系。最后由激活函数输出故障分类...

真空感应磁悬浮熔炼法制备BT22合金组织与性能研究————作者：李鸿举;刘时兵;刘田雨;赵军;史昆;李重阳;李昕祺;

摘要：BT22(Ti-5Al-5Mo-5V-1Cr-1Fe)合金是由苏联航空材料研究院于20世纪70年代研发的高强度钛合金材料，该合金因具有良好的强度、韧性和淬透性被广泛应用于航空航天领域。因熔融态钛合金极易与多种耐火材料和空气中的氧气、氮气等发生化学反应，所以熔炼钛合金必须在真空或者惰性气体（如氩气、氦气）氛围下进行。通过真空感应磁悬浮熔炼法制备的BT22合金，成分均匀，铸态和热等静压态组织均为典型的...

大型并联真空系统抽气性能试验评估方法研究————作者：孟少飞;孙常新;李宇辰;张诣;庞旭东;

摘要：多台套真空泵并联系统的总抽气量通常低于单泵额定抽气量的总和，这对真空系统的精细化设计带来一定的困难。针对该问题，提出了一种大型真空泵并联抽气性能试验评估方法。首先对多泵并联工况下真空系统的总体抽气性能进行数学建模，对多泵并联系统总抽气量和单泵抽气量降幅两个重要指标进行分析；其次，对多泵并联试验工程方法进行研究，探索了基于小系统试验数据的大型并联系统总抽气量预估方法，在此基础上确定了试验模型及测量方...

真空炉加热元件设计与研究————作者：景来兴;李建昌;

摘要：真空炉加热元件直接影响炉温均匀性与加热效率，是真空炉设计与研究的重点之一。本文从加热元件的材料与形状、功率计算方法、接电方式、尺寸与数量选择、安装布局及形式等方面，综述了近年来真空炉加热元件的国内外研究进展。首先，归纳了加热元件材料类型、形状、适用气氛与真空度；其次，梳理了接电电压与接电方式的选择方法，对比了七种经验计算功率方法的适用条件；最后，总结了加热元件尺寸设计与不同炉型安装布局形式。为满足...

不同气体和存储介质对离子束活化时效性的影响————作者：钟利;金凡亚;

摘要：为了研究PEEK/GF聚合物材料在离子束活化后的时效性机理，用氩气（Ar）、氢气(H₂)、氧气(O₂)以及氢气与氮气的混合气体(H₂+N₂)对其进行离子束活化处理，并分别于大气、纯水、无水乙醇和真空等不同介质中存储1～90 d，通过材料表面红外光谱测试和表面接触角测试分析了材料表面特性的时效性变化规律，在此基础...

不同粘结层对Yb₂O₃改性Gd₂Zr₂O₇热障涂层的热冲击影响行为————作者：李婷玥;王鑫;甄真;李娜;许振华;

摘要：(Yb_0.1Gd_0.9)₂Zr₂O₇（YbGdZrO）稀土复合氧化物是一类适用于1 200℃以上应用的新型热障涂层（TBCs）材料。采用电子束物理气相沉积（EB-PVD）工艺在NiCoCrAlYHf及（Ni,Pt）Al粘结层表面分别沉积YbGdZrO陶瓷层，制备出两种不同粘结层体系的TBC...

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