【杂志简介】
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成果展示、转化和技术交流的平台。
【收录情况】
国家新闻出版总署收录 获奖情况
2002-2003和2003-2004年度，均获信息产业部电子科技期刊编辑质量优秀奖
2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术水平优秀奖
中国学术期刊执行(光盘版)检索与评价数据规范优秀期刊
2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊学术技术水平优秀奖。
俄罗斯《AJ》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
美国《剑桥科学文摘》收录
【栏目设置】
主要栏目：专家论谈、纳米器件与技术、纳米材料与纳料结构、MEMS器件与技术、显微、测量、微细加工技术与设备、企业与人物追踪、业界快讯等。
杂志优秀目录参考：
1 Ⅲ-Ⅴ多结太阳电池隧道结模型的研究进展 陈帅;杨瑞霞;吴亚美; 545-553
2 PMMA栅绝缘层表面形貌对并五苯OTFT性能的影响 李雪飞;王伟;王帅;石晓东; 554-558+580
3 金纳米棒复合结构中的双重法诺共振效应 齐信;黄运欢;薛保平; 559-564
4 组合式MEMS三维矢量水声传感器 郭楠;张国军;刘梦然;简泽明;张文栋; 565-569+596
5 基于PNP模型微通道内幂律流体电渗流数值模拟 申力;李鸣;杨大勇; 570-575
6 基于流动聚焦结构的微液滴形成机理 杨丽;周围;王学浩;程景萌;王媛媛;张思祥; 576-580
7 一种高温压阻式压力传感器的制备与倒装焊接 李丹丹;梁庭;姚宗;李赛男;熊继军; 581-585
8 基于小波包络提取法的白光干涉测量系统 简黎;雷李华;李东升;孙晓光;蔡潇雨;李源; 586-591+610
9 碱性铜精抛液中活性剂对平坦化效果的影响 贾少华;刘玉岭;王辰伟;闫辰奇; 592-596
10 UV-LIGA技术制备频率选择表面的研究 林彬彬;陈迪;林树靖;谢耀;袁涛;崔大祥; 597-602
11 阻挡层CMP中螯合剂FA/OII对抛光效果的影响(英文) 荣颖佳;王胜利;刘玉岭;王辰伟;高娇娇;张文倩; 603-610
12 第11届国际专用集成电路会议第一次征稿通知 611-612
通信技术杂志投稿：信息技术在体育教学中的应用
摘 要：随着科学技术的迅猛发展，信息技术越来越广泛地应用于各个领域，怎样把信息技术与体育课程有效整合，达到课堂教学效果的最优化是每位体育教师所面临的课题。本文结合自身的实践，做了有益的尝试。
关键词：通信技术杂志,信息技术, 体育
在新课标下，如何做到将信息技术合理应用到体育教学中，激发学生兴趣，开发教学资源，优化教学过程呢?笔者结合个人教学实际，谈谈自己的看法。
微纳电子技术最新期刊目录
人工智能大语言模型和AI芯片的新进展(续)————作者：赵正平;
摘要：以ChatGPT为代表的大语言模型的发展标志人工智能(AI)进入“通用人工智能”发展的新时代。综述了通用人工智能“大数据、小任务”专用人工智能发展阶段的两大热点：人工智能大语言模型和AI芯片的最新进展和发展趋势。在人工智能大语言模型领域，综述并分析了其发展由来和发展现状，包括专家系统和聊天机器人两条技术路线的发展历程，OpenAI的ChatGPT领跑大模型的发展现状，以及对大模型的综述、深化、改进...
面向CMUT的驱动电路设计和激励信号优化————作者：孙帅文;何常德;吴帅琦;张文栋;张国军;杨玉华;王任鑫;
摘要：电容式微机械超声换能器(CMUT)具有微型化、易与电子产品集成、与人体组织阻抗匹配良好、机电转换效率高、灵敏度高、频带宽和成本低等优点。CMUT在医学成像、无损检测和流速测量等领域展现出极大应用潜力。针对CMUT,设计了一套高压脉冲激励系统，可以用于激励CMUT发送超声波。使用该系统对CMUT进行不同发射波形的测试对比。实验结果显示：在正极性偏置电压下，对上电极施加峰峰值相同的负极性脉冲方波、双极...
水溶性聚合物提高多晶硅CMP表面质量的机理————作者：张潇;周建伟;杨云点;罗翀;栾晓东;邵祥清;李瑾;
摘要：通过实验探究了在抛光液中加入羟丙基甲基纤维素（HPMC）和聚乙烯吡咯烷酮（PVP）两种水溶性聚合物对多晶硅表面的影响机理。HPMC的加入在多晶硅表面形成氢键，并形成一层保护层，改变多晶硅表面的润湿性，减少抛光液中碱性物质和多晶硅的化学反应，减少磨料与多晶硅表面/抛光垫的直接接触，减小了摩擦。加入的PVP与SiO2颗粒之间通过氢键吸附形成软磨料，提高了抛光液的分散性，减少了Si...
用于构建高性能超级电容器的多层片状CoMoO4/Ni3S2纳米复合材料————作者：陆惠群;梁龙生;罗杭;郭艳萍;陆森;林锴松;郑荣升;程再军;
摘要：采用两步水热法在泡沫镍衬底上沉积了CoMoO4/Ni3S2片状纳米复合材料用作赝电容电极。研究了不同水热反应时间对CoMoO4/Ni3S2电极结构和电化学性能的影响，结果显示，在120℃的水热反应温度下，反应时间为3 h时，CoMoO4/Ni 基于分布式声波传感系统的声波信号探测研究————作者：解涛;秦海鑫;万强;董朝强;徐晨; 摘要：利用分布式光纤传感技术在10 km长单模光纤(SMF)上进行声波信号的探测。采用搭建的分布式声波传感(DAS)系统，对不同频率(500、1 000和2 000 Hz)、不同声压(90～110 dB)的声波信号进行全光纤范围内的探测，实现了10 km光纤沿路的分布式声波信号探测与传输，声波信号信噪比(SNR)可达50 dB以上，空间分辨率为10 m。此外，该系统可以在更多场景下与纯光纤系统融合，构建... 碳化硅-玻璃-碳化硅阳极键合界面性能分析————作者：刘淑文;阴旭;刘翠荣;许兆麒;于秀秀;王强; 摘要：碳化硅(SiC)因其优异的高温性能和稳定性，被广泛认为是新一代高温半导体器件封装的理想材料。利用两步阳极键合工艺实现了碳化硅-玻璃-碳化硅的可靠连接。两步键合过程中，第一步和第二步中的峰值电流存在较大差异，尤其在第二步键合过程中电流出现二次峰值特征。采用扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)对样品键合界面进行分析。研究结果表明：当电压过大时，在第二步键合界面处会产生富碳层，从而影响键合效果。使... CuO/C复合薄膜的制备及其作为钠离子电池负极的电化学性能————作者：赵卓凡;闫共芹;蓝春波;王晨;戚艳超;付向辉; 摘要：通过湿化学法和磁控溅射法制备了CuO/C薄膜材料，并将其作为钠离子电池负极。研究了碳复合对CuO薄膜电化学性能的影响，并通过第一性原理计算了钠离子吸附能。研究结果表明，与CuO薄膜相比，通过磁控溅射进行碳复合后形成的CuO/C复合材料具有更优异的电化学性能，复合前、后的薄膜材料在0.01～3 V的电压范围和100 mA/g的电流密度下，经过100圈充放电循环后的容量保持率分别为57.6%和67.6... 二维CMUT阵列成像系统的低冗余设计：一种新的阵列配置模式————作者：张甜;宋金沙;乔冰琴;高丹;王智豪;邵星灵; 摘要：在基于微机电系统(MEMS)的超声换能器研究中，经典相控阵(CPA)配置模式硬件系统复杂，经典合成孔径(CSA)配置模式成像效果较差。为了避免这些问题，研究了低冗余的二维电容式微机械超声换能器(CMUT)阵列配置模式。提出了三种新的阵列配置模式，即“+”字型发射全阵列接收(PF)、“X”型发射全阵列接收(XF)和边界型发射全阵列接收(BF)。首先，计算这五种阵列配置模式的有效孔径。从对比结果可以看... 基于太赫兹平面波导谐振结构的生物分子传感————作者：张慧睿;武京治;王艳红; 摘要：太赫兹平面波导由于其体积小、设计灵活且易于集成而被广泛应用于生物传感。然而，由于太赫兹波长比生物分子的尺寸大约6个数量级，检测单个生物分子存在困难。提出了一种基于平面波导开环谐振器结构的太赫兹生物传感器。研究结果表明，太赫兹传感器在160～200 GHz频率范围内的最大传感灵敏度为28.23 dB/RIU。通过在谐振结构中集成纳米孔，可以检测到单个生物分子，同时发现生物分子的存在导致了0.2 GH... 界面停顿对生长量子级联激光器InGaAs/InAAsl超晶格晶体质量的影响————作者：王祎玮;房玉龙;张曦;商耀辉;赵辉;师巨亮; 摘要：量子级联激光器界面质量对材料质量和器件性能的影响很大,通过分子束外延(MBE)设备生长了高微分增益结构的量子级联激光器。研究了界面停顿对InGaAs/InAlAs超晶格质量的影响。改变超晶格层与层之间的中断时间(10、15、25、35、40 s)后,发现界面停顿会使量子级联激光器(QCL)超晶格生长质量变好,使用高分辨率X射线衍射仪(HRXRD)测量超晶格层的组成成分和生长速率;高分辨率透射电子显... CNC/PVDF复合薄膜的制备及其柔性压电传感器研究————作者：章丽娜;王珏;罗培;王席莹;徐顺建; 摘要：压力传感知器在智能互联时代扮演重要角色,但面临能耗和便携性挑战。柔性介电材料因其力-电转换性能,成为开发高性能压力传感器的关键。其中纤维素纳米晶（CNC）/聚偏氟乙烯（PVDF）压电复合材料以其界面氢键强化和异相成核特性,有效诱导PVDF的β相形成,从而优化压电性能。当添加CNC的质量分数为1%时,CNC/PVDF复合薄膜的灵敏度为0.97 V·N-1,所输出的电压和电流分别... 退火温度对溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜相变性能的影响————作者：汪启旭;张化福; 摘要：以金属钒的有机物(乙酰丙酮氧钒)作为前驱物,利用溶胶-凝胶法并经过475～550℃的后退火处理制备了具有显著金属-绝缘相变特性的纳米二氧化钒薄膜。研究发现,通过改变后退火过程中的温度可对二氧化钒薄膜结构和表面形貌(颗粒形状、颗粒大小和晶界)进行调控,进而实现对二氧化钒薄膜的相变温度、相变幅度以及回线宽度等金属-绝缘相变特性的调控。当退火温度为525℃时,实验制备纳米二氧化钒薄膜的金属-绝缘相变回线... 微通道内弹状气泡形状特性数值研究————作者：马梦珠;吴祥成;卢金;苏良彬;陈华宇; 摘要：微通道多相流技术在多个领域展现出广阔的应用前景,而弹状流因其高效的传热传质特性成为研究的焦点。运用流体体积（VOF）法实现对矩形微通道内弹状气泡动态行为的精确数值模拟,旨在深入剖析气液界面的复杂演变过程。针对实验手段难以全面捕捉的小毛细数(Cab 卫星互联网用Ka波段开关功率芯片————作者：曲韩宾;崔朝探;芦雪;王宇行;杜鹏搏; 摘要：基于90 nm GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺研制了一种高集成、高效率、小尺寸的Ka波段单通道多功能芯片。芯片内部集成单刀双掷开关和功率放大器单元。开关单元采用1/4波长线并联一指开关管结构，以降低插入损耗；功率放大器采用三级放大电路，末级匹配采用最小损耗结构，输入及级间匹配采用低通电抗式匹配网络，以提高电路效率和稳定性；最后进行开关和功率放大器的级联设计，以实现芯片的小型化和高... 面向智能装备的MEMS惯性集成微系统关键技术分析————作者：蒋鹏;鞠莉娜;王子;徐彤;李亚平;陈远金; 摘要：装备领域的变革对智能化提出了新的要求，模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点，可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出发，重点介绍了MEMS惯性集成微系统跨尺度设计、三维异构集成工艺、集成检测与可靠性验证等关键技术，并对技术发展趋势进行了分析 基于调谐卡尔曼滤波的光栅MOEMS IMU姿态算法研究————作者：王兵权;孙文强;解琨阳;金丽;李孟委; 摘要：针对纳米光栅微光机电系统(MOEMS)惯性测量单元(IMU)的高精度姿态解算需求，设计了一种基于调谐卡尔曼滤波(TKF)的姿态算法，解决了复杂动态环境下姿态估计精度不足和噪声抑制效果不佳等问题。首先阐述了纳米光栅MOEMS IMU的测量原理，建立了陀螺仪/加速度计的力-光-电检测模型。其次介绍了调谐卡尔曼滤波的算法流程，建立了状态空间方程、噪声模型及误差传播模型。最后，通过静态和动态条件下的姿态解... 基于金属衬底的石墨烯温度传感器仿真————作者：田传升;王俊强; 摘要：针对动力设备实时温度测量的需求，研究了一种快响应、宽温区的石墨烯温度传感器。传感器芯片由金属衬底、绝缘层、金属电极层、石墨烯传感层、保护层和金属抗氧化涂层组成。以热导率高的金属为衬底，另外在传统的陶瓷保护层的基础上增加四元金属抗氧化涂层，能够有效阻挡高温下氧气的渗透。利用有限元软件进行分析，当温度由室温升高到1 200℃时，采用硬质合金、氧化铝、氮化硅为衬底的芯片响应时间分别为55、660、75 ... 基于细分插值技术的光栅干涉MOEMS加速度计————作者：杨鹏;金丽;解琨阳;李孟委; 摘要：为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题，提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理，即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测，然后利用仿真对所设计的加速度计结构进行优化设计。由于光栅干涉式加速度计输出信号为单路正弦信号，因此采用细分插值电路技术，结合90°相移和高精度直流偏置电压技术，将具有正弦特性的模... 基于金刚石NV色心的免微波磁平衡直流测量应用————作者：张少春;赵博文;刘雅琪;赵冀红;童晓枫;周梦良; 摘要：随着特高压技术的发展，电力系统对电流互感器的安全性和可靠性提出了更高的要求。近年来，基于量子精密测量技术的金刚石氮-空位(NV)色心电流互感器凭借其高精度、高灵敏度的特点，得到了广泛的研究与应用。提出了一种基于金刚石NV色心的磁平衡直流电流测量方案，利用平衡线圈产生的磁场平衡待测电流激发的磁场，并采用调制线圈跟踪平衡点的变化，通过校准后实现电流测量功能。进行了500、1 000和5 000 A的精... 第十八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会暨2025年微纳器件技术融合创新发展论坛会议通知 摘要：<正>微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台,“第十八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会暨2025年微纳器件技术融合创新发展论坛”定于2025年5月16—18日在合肥世纪金源大... 相关电子信息期刊推荐 核心期刊推荐
