电子工业专用设备

《电子工业专用设备》 关注(): 期刊周期：月刊; 期刊级别：国家级; 国内统一刊号：62-1077/TN; 国际标准刊号：1004-4507; 主办单位：中国电子科技集团公司第45研究所; 主管单位：中国电子科技集团公司; 上一本期杂志：《电信技术》科技论文期刊推荐; 下一本期杂志：《电信工程技术与标准化》电信论文发表期刊

　　【杂志简介】

　　《电子工业专用设备》为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。

　　【收录情况】

　　国家新闻出版总署收录

　　2001~2002年度标准化规范化部级奖

　　获2003~2004年度出版质量部级奖

　　【栏目设置】

　　主要栏目：趋势与展望、专题报道、IC前沿制程、封装与测试、行业快讯、新技术应用、企业介绍。

　　杂志优秀目录参考：

　　第八届(2013年度)中国半导体装备创新产品和技术介绍

　　坚持市场导向突出助优扶强将科技资金“用到刀刃上” 于燮康

　　半导体的行业挑战与摩尔定律程建瑞(编译)，CHENG Jianrui

　　变化中的全球半导体设备市场蔡颖

　　450 mm晶圆CMP设备技术现状与展望柳滨，周国安，LIU Bin，ZHOU Guoan

　　以技术创新推动晶体硅太阳能电池智慧生产线建设谢建国，赵加宝，XIE Jianguo，ZHAO Jiabao

　　提高晶圆扫描效率的方法研究罗杨，LUO Yang

　　CTA8280集成电路测试系统的研究应用钟锋浩，ZHONG Fenghao

　　全自动贴敷PSA设备的研制孙瑞涛，鲍磊，伍昕忠，贺志强，姬丽娟，张锋，SUN Ruitao，BAO Lei，WU Xinzhong，HE Zhiqiang，JI Lijuan，ZHANG Feng

　　直线电机保护装置的设计与控制方法刘亚奇，郝术壮，朱伟，孟庆嵩，LIU Yaqi，HAO Shuzhuang，ZHU Wei，MENG Qingsong

　　极大规模集成电路测试开发平台和全自动测试线全面建成并投入产业化应用北京确安科技股份有限公司，北京 100094

　　精准有道--海德汉携新型绝对式测量产品重返SEMICON

　　使用寿命提高4倍 Triflex RS机器人管线包用于天窗涂胶机器人生产线

　　通信专业学刊投稿：交通科技项目查新检索系统的设计

　　摘要：本文以湖北交通科技项目查新检索系统为例，提出了基于SOA架构的交通科技项目查新检索系统的设计模型。通过SOA架构技术整合资源和应用系统，建立了统一平台和门户，为交通运输各级科技人员提供信息通告、项目申报、项目评审、成果公开、资源查询、科技查新、在线交流、培训学习等功能的一站式服务，提高了科研管理的科学化水平。

　　关键词：通信专业学刊,SOA,交通科技,查新检索系统,设计,实现

　　1 引言(Introduction)

　　根据交通运输部印发的《关于科技创新推动交通运输转型升级的指导意见》(交科技发[2013]540号)文件精神，到2020年，将在工程建养、运输服务、安全应急、绿色循环低碳交通和信息化等领域共性关键技术研究取得一批国际领先、实用性强的自主创新成果，推动交通运输转型升级，行业科技进步贡献率达到60%。要实现科技创新的发展目标，就必须建立交通科技发展相适应的智力支持系统。

　　电子工业专用设备最新期刊目录

碳化硅衬底化学机械研磨机理————作者：罗付;蔡长益;潘宏明;詹阳;

摘要：化学机械平坦化（CMP）作为能够实现局部和全局平坦化的唯一方法，被广泛应用于碳化硅衬底加工中，其成本在碳化硅衬底加工中占30%～40%^[1]。抛光液作为化学机械平坦化的主要耗材之一，不同抛光液的选取对平坦化的效果不同。为此针对不同磨料的碳化硅衬底抛光液进行对比，对二氧化铈抛光液机理进行分析，并针对二氧化铈抛光液耗材搭配进行研究。最后根据二氧化铈抛光液的特性选用不同硬度的抛光垫...

旋转批靶离子注入机靶室晶圆传送系统设计————作者：郭锐利;彭立波;罗才旺;

摘要：为满足旋转批靶离子注入机的自动化需求，设计了旋转批靶离子注入机的靶室晶圆传送系统，介绍了靶室结构和晶圆传送流程、片库腔体、机械手腔体和靶室腔体；分析了3种传片流程，并进行比较；论述了靶室运动控制系统及硬件和软件设计思路。最后对靶室晶圆传送系统进行总结，并展示其研制成功后的应用成果，可交付给芯片厂进行批量生产

碳化硅减薄后的清洗工艺研究————作者：孙莉莉;袁晓春;李远航;

摘要：介绍了碳化硅减薄后清洗的工艺过程和原理，主要研究了碳化硅清洗过程中清洗方法、清洗时间、清洗气压对清洗效果的影响。提出改善清洗效果的工艺措施，为提高碳化硅加工过程中的清洗效率提供指导

半导体自动涂胶显影技术及设备研究————作者：黄华佑;杨丹;李运泉;

摘要：随着集成电路的特征尺寸不断缩小和晶圆尺寸的不断增大，半导体自动涂胶显影设备（Track）的技术水平显著影响整个集成电路制造过程的精度和效率。介绍了半导体自动涂胶显影设备的工艺技术及流程，对其关键部件及功能进行了分析，并就涂胶均匀性与精度控制、设备温度控制和自动化控制等关键技术进行了探讨

国产HPC与AI芯片制造装备技术现状与发展策略分析————作者：高岳;郭春华;米雪;刘容嘉;

摘要：回顾了国产高性能计算(HPC)与人工智能(AI)芯片制造装备的发展历程，总结了目前的技术现状与面临的挑战。分析了国内外高性能计算与人工智能芯片制造装备的发展趋势和技术特点，并提出了针对国产装备发展的具体策略与建议，以期推动我国在这一领域的自主创新能力和发展水平

运动台平衡质量气浮导轨设计及制造工艺研究————作者：赵宝君;田世伟;赵宏亮;李建辉;范少峰;李超;

摘要：运动台平衡质量气浮导轨主要用于运动导向气浮面和平衡质量配重，具有质量大、精度高的特点，加工难度较大；其性能直接影响运动台的运动性能，利用有限元软件ANSYS对气浮导轨进行静力学仿真分析，对气浮导轨的优化设计和加工制造提供理论依据

汽车电子系统中传感器误差补偿与精度提升技术————作者：辛欣;马天舒;叶熠琳;

摘要：针对传感器在实际应用中存在的温度漂移、非线性误差和环境干扰等问题，研究了基于最小二乘法和卡尔曼滤波的自适应补偿算法。通过建立温度-误差模型和多源数据融合技术，实现传感器信号的实时校正。该补偿方法在电机转速加速度变化较大的工况下依然保持稳定，显著提升了传感器测量精度。通过建立分程计量方法和多源数据融合技术，实现传感器信号的实时校正。该补偿方法能有效应对电机转速加速度变化较大等复杂工况，显著提升了传感...

基于半导体硅片加工的金刚线切片机技术研究————作者：刘秀坤;

摘要：论述了半导体硅片加工机床的现状与发展趋势，研究了金刚线切割半导体的必要性。通过金刚线切割硅片的原理以及切割技术参数，分析了金刚线切片机的关键技术和难点技术，设计出了适用于半导体硅片加工的金刚线切片机。实践证明，采用金刚线切片机加工半导体硅片满足精度需要，提高了加工效率，降低了使用成本

基于Ansys CFX的激光剥膜设备工艺腔室进气优化仿真分析————作者：曹国斌;王贵森;

摘要：基于Ansys CFX模拟激光剥膜设备工艺腔室内气体分布和稳定后腔室内氮气浓度的情况，经过CFX仿真分析得出：在前上方2个进口、后侧方2个出口固定情况下，对比分析增设匀流板前后流体分布，仿真明确在入口附近增设匀流板效果较好，改进后腔体内气体流动区域较大，且稳定后腔体内氮气浓度更高，最高点氮气浓度是未改善前设计浓度的2.39倍

基于倍福PLC的MOCVD设备控制系统设计研究————作者：熊峥;李明;周立平;叶肖杰;

摘要：为实现MOCVD设备的稳定运行与控制，通过分析MOCVD设备的子系统组成、PLC硬件网络及控制系统，结合系统的安全性设计，研究了一套基于倍福PLC的MOCVD设备控制系统。通过实际运行，该套电气控制系统电气强弱分离，整体结构层次感强，易于维护，运行稳定可靠，安全等级高，可满足半导体工业生产要求

洁净厌氧烘箱的锁紧机构改造及温度均匀度优化————作者：苏杭;陈磊;熊伟尉;白杨;施国政;

摘要：介绍了洁净厌氧烘箱的运行原理，以及腔体温度分布的测量方法，并应用该方法对烘箱进行热分布实验测试。对影响腔体温度分布的因素展开研究，并通过对设备锁紧机构的升级改造，改善烘箱腔门密封性，实现了对腔体温度均匀度、上下偏差值等关键工艺参数的优化，提升了设备的工艺能力及产能

基于CODESYS平台的免输入刷卡登录权限系统设计————作者：李永明;范新丽;李云峰;

摘要：随着PLC技术迅猛发展，高级编程语言在PLC中的应用也日益广泛，CODESYS平台作为其中一款PLC编程软件，支持面向对象的编程特点，逐渐成为连接电子、工控和IT行业的重要纽带，极大地推动着工控自动化领域的发展。基于CODESYS平台，在HMI人机交互界面实现无输入刷卡登录权限系统设计，满足工控领域安全权限管理需求，方便人工操作，提升交互体验和安全管理

自动化设备Ether CAT总线掉线原因分析和解决方案研究————作者：范新丽;李云峰;

摘要：在现代工业自动化技术中，EtherCAT总线技术以实时性高和传输速度快的优势在自动化设备中得到了广泛应用。然而，在实际应用中，EtherCAT总线掉线问题时有发生，成为影响自动化设备稳定性和可靠性的重要因素。通过分析EtherCAT总线掉线的原因，提出有效的解决方案，以提高自动化系统的稳定性和可靠性

基于WCF通信技术的服务平台设计与实现————作者：马春华;姚昕明;胡希雅;

摘要：针对传统单体软件系统模块耦合度高、协作困难，接口规范差异性大、业务功能扩展难度大等问题，基于WCF通信技术，以SOA体系结构为基础，规范服务接口定义，构建统一的服务管理机制执行服务部署、启动、停止、卸载、服务状态变更通知等操作，设计并实现了WCF服务管理平台，将单体应用细化为可互相协作、配合的一组服务，每个服务独立运行，大大降低了模块间的耦合度，提供完善的服务管理功能以及统一的服务调用形式，协作成...

微米级Ag/Cu/Ni球形颗粒对Sn₄₂Bi₅₈焊料性能的影响————作者：万莉;

摘要：研究了微米级银粉、镍粉和铜粉对Sn₄₂Bi₅₈无铅焊锡膏的焊接性能影响。在实验过程中通过机械搅拌的方式添加金属粉末，明显改善Sn-Bi合金焊接头的焊接能力和力学性能。并对其组织与性能进行了研究，为低温无铅焊料的推广和产业化奠定了材料基础

仪器仪表在交直流系统故障诊断中的关键技术与方法————作者：牛国忠;贾婧楠;

摘要：随着交直流系统在能源传输和分配领域的广泛应用，系统故障诊断的准确性和效率变得至关重要。聚焦于交直流系统故障的类型和特点，对先进的仪器仪表和相关技术进行了深入分析和研究；研究发现，这些仪器仪表和方法不仅能提高诊断的准确率，还能缩短故障检测的时间，为系统的稳定运行和维护提供了强有力的技术支持

EFEM通讯接口与系统设计————作者：吴限;林伯奇;万胜强;巴赛;

摘要：为了实现对外延设备EFEM(Equipment Front End Module)模块的控制，阐述了一种基于Modbus通信协议的自动化控制系统。主要讨论了系统的硬件组成，并详细分析了Modbus RTU协议工作方式，同时，在软件层面上说明了接口控制的协议指令定义规则与常规运行流程

离子束表面加工设备控制系统研究与设计————作者：范江华;黄一峻;周立平;周波;刘庆浩;胡坤;

摘要：通过研究离子束表面加工设备的功能要求和工艺流程，设计了一套具备全自动真空、控温、传片、镀膜、刻蚀等功能的控制系统，并详细阐述控制系统各模块的功能及设计实现。经过产线流片验证，该控制系统运行稳定，满足离子束加工设备镀膜与刻蚀等工艺控制需求

基于无线传感器网络的海上石油生产平台监测仪器仪表系统研究————作者：李宇;

摘要：随着海洋石油资源开发的深入，海上石油生产平台的运行安全与效率成为行业关注的焦点。探索了一种创新的监测解决方案——基于无线传感器网络（WSN）的仪器仪表系统，旨在为海上作业环境提供一个高精度、低能耗且稳定的监测平台。该系统通过精心设计的网络层次、自适应路由算法以及数据处理技术，有效提升了数据采集与传输的效率。通过加密技术与故障自愈机制，确保了数据的安全与系统的可靠性。通过一具体海上平台的案例分析，展...

交换版机械手用柔性吸附装置的力学特性及吸附效果分析————作者：刘颖;关宏武;赵东雷;林继柱;

摘要：吸附装置作为交换版机械手重要的组成部分，对掩模传输过程中物料的可靠性、安全性和掩模版的变形起关键性作用。通过综合考虑吸附装置的吸附性能、密封性能及对掩模版变形的影响，设计了一种新型柔性吸附装置，通过有限元仿真分析柔性吸附装置对掩模版变形的影响，搭建试验平台，对柔性吸附装置的吸附性能和密封性能进行试验。结果表明，掩模版最大变形为0.85μm，吸附力为52.39 N，掩模版掉落时间为188 s，压降为...

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文章标题：《电子工业专用设备》电子期刊论文发表

文章地址：http://www.sofabiao.com/qk/dianzi/3436.html

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